专利名称 | 磨抛夹具 | 申请号 | CN201710048549.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN106695554A | 公开(授权)日 | 2017.05.24 | 申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 孔金霞;刘素平;马骁宇 | 主分类号 | B24B41/06(2012.01)I | IPC主分类号 | B24B41/06(2012.01)I | 专利有效期 | 磨抛夹具 至磨抛夹具 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种磨抛夹具,包括:限位柱套、N个固定柱和M个限位柱;限位柱套的内部开有N个贯穿限位柱套的固定孔;N个固定柱分别安装在所述固定孔中,其直径与所述固定孔的直径相匹配,并可在所述固定孔内上下滑动和自由转动;所述固定柱下方设置至少三个限位柱,其中,所述限位柱设置在相应固定柱的下端平面上,其延伸方向与固定柱的下端平面垂直;其中,磨抛产品夹设于其中之一的固定柱下方至少三个限位柱之间。该磨抛夹具可以根据单管芯激光二极管的尺寸变化自由调节,使用简单方便;该磨抛夹具还可以对多个磨抛产品同时进行磨抛,磨抛效率高,并且可以达到很好的磨抛均匀性。 |
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