微波ECR等离子体阴极环形束电子枪

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专利名称 微波ECR等离子体阴极环形束电子枪 申请号 CN201821932032.5 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN209045482U 公开(授权)日 2019.06.28 申请(专利权)人 中国科学院空间应用工程与技术中心 发明(设计)人 王功; 刘亦飞; 李亮; 贾新建; 刘兵山 主分类号 H01J37/065 IPC主分类号 H01J37/065 专利有效期 微波ECR等离子体阴极环形束电子枪 至微波ECR等离子体阴极环形束电子枪 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种微波ECR等离子体阴极环形束电子枪,涉及电子束增材制造技术领域。电子枪通过设置中空的环形结构放电腔,并在放电腔的前端连接有微波源,后端依次连接有引出加速电极和聚焦永磁体,在使用过程中,微波源利用电子回旋共振产生等离子体,引出加速电极将电子引出并在聚焦永磁体的作用下聚束,打印金属丝材从放电腔的中心通过,在聚焦电子束的作用下熔融成型。所以,本实用新型中的电子枪不仅提供了等离子体阴极,为空间金属增材制造提供热源,而且使用无极放电,免去了材料电极寿命不足的缺点,有利于在空间中使用;另外,金属丝材可以从电子枪的中心通过,环形电子束可以与金属丝材实现自对中,省去了复杂的对中过程。

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