| 专利名称 | 一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法 | 申请号 | CN201711462422.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108284054A | 公开（授权）日 | 2018.07.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院声学研究所 | 发明（设计）人 | 姜雪娇;刘梦伟;王文;师芳芳;宫俊杰 | 主分类号 | B06B1/06(2006.01)I | IPC主分类号 | B06B1/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法 至一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法，该制备方法包括：将压电陶瓷衬底切割成多个换能器阵元，形成换能器阵列；所述换能器阵元的宽度和间隔为20?100μm，切割深度为50?300μm；在换能器阵列一侧进行切割，获得底电极共面电连接槽；底电极共面电连接槽宽度为20?300μm；在换能器阵元之间灌胶，在底电极共面电连接槽内灌导电胶；制备底电极；与底电极相对的压电陶瓷面进行厚度减薄处理，使压电陶瓷厚度降低为50?200μm；制备上电极及底电极连接面；将换能器阵列分割，形成多个单个超声线性相控阵列换能器；对换能器引线键合；封装，灌注匹配层。本发明提供的换能器检测分辨率高、探测深度大，可用于微尺度特征结构的超声检测。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障