| 专利名称 | 一种光刻机照明控制测试系统及方法 | 申请号 | CN201810090765.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108279553A | 公开（授权）日 | 2018.07.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张友宝;马兴华;胡小邦;谢承科;黄立华;侯莉颖;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光刻机照明控制测试系统及方法 至一种光刻机照明控制测试系统及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处理结果，生成测试报告，并传输给控制中心模块；对气压信号和互锁信号进行监测，并传输给控制中心模块；接收控制中心模块的指令并执行等步骤。本发明能够快速高效地完成照明系统性能指标测试，并同时自动化给出测试报告，极大提高了集成装调过程的迭代速度。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障