| 专利名称 | 一种真空泵测试系统及测试方法 | 申请号 | CN201711410851.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108194343A | 公开（授权）日 | 2018.06.22 | 申请（专利权）人 | 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 发明（设计）人 | 刘坤;迟小宇;雷震霖;于明鹤;毕德龙;张军;郭丽娟;刘永源;杜广煜;巴德纯 | 主分类号 | F04B51/00(2006.01)I | IPC主分类号 | F04B51/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种真空泵测试系统及测试方法 至一种真空泵测试系统及测试方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。 |
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