| 专利名称 | 一种光束MEMS快速调控系统 | 申请号 | CN201810128468.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108169894A | 公开（授权）日 | 2018.06.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所;北京理工大学 | 发明（设计）人 | 李明;姜澜;李珣 | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光束MEMS快速调控系统 至一种光束MEMS快速调控系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种调控系统，该调控系统用于调控飞秒激光脉冲光束幅位，包括飞秒激光脉冲光源，MEMS快速调节镜系统，光斑位置传感器，信号处理系统；其特征在于，该MEMS快速调节镜系统位于所述调控系统构成该调控系统的核心空间的第二空间，所述MEMS快速调节镜系统具有由可实现各态历经过程的单MEMS微透镜形成的相干微透镜矩阵，单MEMS微透镜有波数不敏感属性；所述信号处理系统控制MEMS快速调节镜系统调控光束幅位，MEMS快速调节镜系统通过信息处理系统并行脉冲信号调节相干微透镜矩阵，所述相干微透镜矩阵中各个上述单MEMS微透镜与轴向夹角由并行脉冲信号幅度控制。 1 |
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