| 专利名称 | 一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置 | 申请号 | CN201810131547.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108169895A | 公开（授权）日 | 2018.06.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 李明 | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置 至一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出了一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置，采用空间光束柔性传输技术，对大幅面复杂图案进行激光制造，主要包括：规划光束空间扫描路径，进行光束空间扫描，根据扫描结果，由传输定位运动平台控制构件在空间中运动，对光斑位置进行准确定位；将激光扫描速度和激光脉冲关联，扫描速度越快，激光脉冲个数越多，通过控制扫描速度和激光脉冲个数对大幅面复杂图案精细制造；通过空间四自由度旋转臂对光束进行控制，由水平及垂直旋转轴的运动完成控制过程，在控制过程中保持水平与垂直旋转轴的同步，通过CMOS相机监控光束角度偏差，角度偏差经过反射镜，由光束位置检测器检测光束偏转角度；根据偏转角度对水平及垂直旋转轴进行微调。 1 |
1、源头对接，价格透明
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