| 专利名称 | 一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法 | 申请号 | CN201711381380.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108118299A | 公开（授权）日 | 2018.06.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 杨俊峰;方前锋;杨瑞芳;王先平;张涛;庄瑞斌;宰广平;程帜军 | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 专利有效期 | 一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法 至一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法，该涂层设于各种不同成分的基体上，其结构为A?Mo/Mox1Ay1N1?x1?y1/Mox2Aly2CZ2N(1?x2?y2?z2)/Mox3Aly3CZ3Siu3N(1?x3?y3?z3?u3)，其中，A为基体所含的主要元素，0<x,y,z<1。本发明通过采用多梯度，多元纳米复合的手段来提高涂层的综合性能，与现有技术相比，其制备获得的薄膜具有较高的硬度、膜基结合力和抗氧化性以及低的摩擦系数。 |
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