| 专利名称 | 适用于离子束抛光的工件定位误差标定及补偿方法 | 申请号 | CN201711191975.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108044408A | 公开（授权）日 | 2018.05.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 邓伟杰;尹小林;唐瓦;薛栋林;李锐钢;张学军 | 主分类号 | B24B1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B1/00(2006.01)I;B24B49/12(2006.01)I | 专利有效期 | 适用于离子束抛光的工件定位误差标定及补偿方法 至适用于离子束抛光的工件定位误差标定及补偿方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明通过获得工件中心相对离子源束流中心的空间位置关系，实现离子束抛光过程中工件位置精确标定。激光跟踪仪通过接触式测量工件上的线、面等基准信息，再进行立体几何计算得到工件中心空间位置信息。离子源开启后进行法拉第杯扫描，获得离子束流分布及其中心位置，得到离子束中心相对法拉第杯中心坐标系位置。在本发明中，工件中心空间位置经过以下传递：工件→靶球基座→法拉第杯→离子束流，获得工件中心相对离子束流中心的空间位置，从而实现离子束抛光过程中工件位置精确标定。然后CNC代码中驻留时间坐标减去工件中心相对离子束中心的空间位置关系，通过软件将定位误差进行偏置补偿。 |
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