一种应用于激光加工头反射摆镜的调试方法

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专利名称 一种应用于激光加工头反射摆镜的调试方法 申请号 CN201711464920.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108007445A 公开(授权)日 2018.05.08 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 贾乃勋;吴璀罡;解来运;刘爱敏;卢振华;吴佳丽;李巧玲 主分类号 G01C15/00(2006.01)I IPC主分类号 G01C15/00(2006.01)I 专利有效期 一种应用于激光加工头反射摆镜的调试方法 至一种应用于激光加工头反射摆镜的调试方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明属于激光技术加工领域,涉及一种应用于激光加工头反射摆镜的调试方法,通过自准直测量原理调试反射摆镜,可测量出反射光线与光轴正交夹角,方法原理简单,实施方便,测量精度分辨率可达到0.5″。反射光线与光轴正交夹角误差取决于AC轴正交精度与A轴回转精度,AC轴正交精度一般最高可调试到3″,A轴回转精度取决于电机主轴自身,最高可达到为1″。

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