专利名称 | 硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片 | 申请号 | CN201710998805.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN107872005A | 公开(授权)日 | 2018.04.03 | 申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 郑婉华;董风鑫;刘安金 | 主分类号 | H01S5/14(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/14(2006.01)I;H01S5/065(2006.01)I | 专利有效期 | 硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片 至硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片,所述激光器包括依次设置的半导体光放大器、硅基模斑变换器、热调硅基环形谐振器及硅基相移器和双端口硅基多模干涉反射镜。所述双端口硅基多模干涉反射镜包括输入波导、输出波导、多模波导,以及分别将输入波导、输出波导与所述多模波导一端连接的锥形波导,所述输入波导连接到所述热调硅基双环谐振器的输出端,所述多模波导的另一端具有两个与波导轴向成45°的刻蚀面,两个刻蚀面垂直相交处位于所述多模干涉自成像波导的轴线上;所述激光器和其他硅基功能器件组成光子芯片。本发明的可调谐激光器及光子芯片具有尺寸小、成本低的优点,易于集成,在集成光电子领域和光通信领域有广阔的应用前景。 |
1、源头对接,价格透明
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