| 专利名称 | 一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法 | 申请号 | CN201710911290.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107782254A | 公开（授权）日 | 2018.03.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 王孝坤;张海东;薛栋林;张学军 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法 至一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种混合补偿式子孔径拼接面形检测方法，在子孔径拼接面形检测中，能够在使用较小CGH补偿器的情况下扩大单次子孔径测量的区域，从而有效减少所需子孔径的数量，减少误差的传递的同时也减少所需补偿器的数量。利用子孔径拼接检测结合透镜与CGH补偿器混合补偿，使得采用的CGH补偿器摆脱了单次补偿检测区域即子孔径范围内的约束，减少了同样规格凸非球面所需的子孔径数量，进而减少了光学元件调整以及后续拼接计算所需的时间成本；同时减少了所需CGH补偿器的数量，降低了检测的经济成本；并且减少了拼接误差传递和累积，提高了检测精度。 |
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