一种集成式超细光谱筛及其制备方法

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专利名称 一种集成式超细光谱筛及其制备方法 申请号 CN201710907082.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107664784A 公开(授权)日 2018.02.06 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 张新;王灵杰;谢晓麟;吴洪波;付强 主分类号 G02B5/20(2006.01)I IPC主分类号 G02B5/20(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I 专利有效期 一种集成式超细光谱筛及其制备方法 至一种集成式超细光谱筛及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种集成式超精细光谱筛,采用8片以上窄条滤光片粘接集成,控制各个窄条滤光片的各面尺寸、形位精度相同,控制各个窄条滤光片的通光面无瑕疵、双面平行度小于3μm,窄条滤光片的上下涂胶面加工有十字形对准标记,实现长度方向精确拼接,集成后的通光面无台阶状偏差,平面度小于5μm。本发明还公开了制备上述集成式超精细光谱筛的方法,具有精度高、集成工艺成熟、集成后的光学元件表面无溢胶的优点,制备出的集成式超精细光谱筛具有集成度高、一致性高、精度高、性价比高、稳定性好的优点,适用于高分辨率多光谱成像仪光学系统。

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