| 专利名称 | 一种紫外探测器及其制作方法 | 申请号 | CN201710779638.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107579126A | 公开（授权）日 | 2018.01.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 陈星;刘可为;李炳辉;张振中;申德振 | 主分类号 | H01L31/0296(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种紫外探测器及其制作方法 至一种紫外探测器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种紫外探测器及其制作方法，所述制作方法包括：提供一衬底；在所述衬底表面形成氧化锌层；对所述氧化锌层的表面进行氟修饰处理，使得所述氧化锌层具有含氟的官能团；在所述氧化锌层的表面形成预设图形结构的电极，所述电极表面具有In粒；其中，所述官能团用于增加对氧气的吸附量以及吸附速率。本发明技术方案可以同时优化紫外探测器的响应度、暗电流以及响应时间这三个特性。 |
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