电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法

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专利名称 电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法 申请号 CN201710917302.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107505121A 公开(授权)日 2017.12.22 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 刘世杰;鲁棋;周游;王圣浩;徐天柱;王微微;邵建达 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法 至电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法,该装置中的主要元件包括:线偏振光激光器、第一透镜、小孔光阑、第二透镜、分光镜、平面反射镜、接收屏、第三透镜、一维精密电动位移台、第四透镜、线偏振片、第五透镜、图像探测器和计算机,装调光路须用到数字光电自准直仪和一块平行度为1″的平行平板玻璃等。本发明实现了待测电光晶体非接触式无损检测,克服了现有方法中的晶体易产生划痕、测量装置难以搭建和锥光干涉图难以分析等一系列问题。本发明更换不同F数的第三透镜和第四透镜,可对不同厚度的电光晶体进行测量。本发明测量的数据重复性很好,与现有的X射线晶体定向仪测量的数据进行比较,相对误差在30″以内。

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