| 专利名称 | 一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法 | 申请号 | CN201710652088.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107498176A | 公开（授权）日 | 2017.12.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 郭馨;王宇;丁金滨;刘斌;张立佳;周翊;赵江山;齐威 | 主分类号 | B23K26/00(2014.01)I | IPC主分类号 | B23K26/00(2014.01)I;B23K26/352(2014.01)I;B23K26/402(2014.01)I | 专利有效期 | 一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法 至一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种多孔陶瓷的准分子激光抛光和检测方法，其特征在于，包括以下步骤：利用表面粗糙度分析设备扫描多孔陶瓷待加工面的表面轮廓，使用光束均匀器和聚焦透镜实现准分子激光光束的聚焦和匀化，确定抛光用准分子激光的离焦量，规划表面的扫描路径，调整准分子激光的参数，测定多孔陶瓷的烧蚀阈值Fth，调节准分子激光的输出能量对多孔陶瓷进行抛光，计算抛光前多孔陶瓷的表面凸出粗糙度，计算抛光后多孔陶瓷的表面凸出粗糙度。本发明的方法对多孔陶瓷的热力影响小，不会引起陶瓷材料颗粒剥落、脆断等问题，对抛光材料的尺寸、形状无要求，能够实现薄膜、曲面甚至部分内部结构的抛光，提高了多孔陶瓷抛光效果的辨识度和准确度。 |
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