一种高精度、高负载直线位移平台

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专利名称 一种高精度、高负载直线位移平台 申请号 CN201710773101.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107461580A 公开(授权)日 2017.12.12 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 王正亭;栾志武;张海清;韩梦赟;于玲 主分类号 F16M11/04(2006.01)I IPC主分类号 F16M11/04(2006.01)I;F16M11/18(2006.01)I 专利有效期 一种高精度、高负载直线位移平台 至一种高精度、高负载直线位移平台 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种高精度、高负载直线位移平台,步进电机通过联轴器与蜗杆轴连接,蜗杆和蜗杆轴刚性固联,蜗轮和蜗杆啮合,输出较大的传动比,蜗轮通过蜗轮轴与丝杠连接,蜗轮轴另外一端连接有高精度位置传感器,丝杠驱动载物台运动,载物台固定在高精度、高负载的直线导轨的滑块上,直线导轨固定在底座上。步进电机工作时,带动蜗轮蜗杆副运动,丝杠和直线导轨最终将步进电机轴的旋转运动转化为直线运动,直线运动的工作行程范围由两光电限位开关和安装于载物台上的位置触发装置控制,直线运动的安全行程范围由安装于底座上的机械限位挡块控制。可实现8kg负载、工作运动行程16mm的情况下,在空间任意姿态下直线性精度优于0.008mm,重复定位精度优于0.002mm。

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