一种约瑟夫森结器件及其制备方法

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专利名称 一种约瑟夫森结器件及其制备方法 申请号 CN201610206399.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107293638A 公开(授权)日 2017.10.24 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 庞远;王骏华;杨光;吕昭征;吕力 主分类号 H01L39/22(2006.01)I IPC主分类号 H01L39/22(2006.01)I;H01L39/24(2006.01)I 专利有效期 一种约瑟夫森结器件及其制备方法 至一种约瑟夫森结器件及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种约瑟夫森结器件,包括:非超导介质膜和位于所述非超导介质膜之上的彼此间隔的第一超导介质膜和第二超导介质膜,还包括在所述第一超导介质膜和第二超导介质膜之间的至少一个正常金属电极,所述正常金属电极与所述非超导介质膜直接接触,并且与所述第一超导介质膜和所述第二超导介质膜分别彼此绝缘。本发明的约瑟夫森结器件能够实现结区相位差的探测,尤其可以测量射频超导量子干涉器中约瑟夫森结的结区相位差,操作简单,成本低廉。

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