| 专利名称 | 一种Au?Cu/Ag?Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用 | 申请号 | CN201710431891.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107267940A | 公开（授权）日 | 2017.10.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 杨瑞芳;赵南京;肖雪;殷高方;马明俊;孟德硕;方丽;甘婷婷 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;G01N21/64(2006.01)I | 专利有效期 | 一种Au?Cu/Ag?Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用 至一种Au?Cu/Ag?Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种Au?Cu/Ag?Al纳米多层膜表面增强荧光基底及其应用，将载玻片清洗、吹干后备用；将Au?Cu和Ag?Al复合靶分别安装在直流阴极上，清洗后的载玻片装入样品台，开机，抽真空，然后通人氩气,打开溅射电源，交替溅射Au?Cu和Ag?Al，溅射完成，关闭溅射电源，停止通气，关分子泵，关电源,自然真空下冷却到室温，然后取出样品。本发明操作简单、环境友好、沉积速度快、效率高、生产成本低、易于批量生产的薄膜表面增强荧光基底，该薄膜是多层结构，通过在玻璃上交替沉积Au?Cu和Ag?Al制备，采用的仪器是普通的磁控溅射仪。 |
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