| 专利名称 | 一种MEMS晶片的贴膜对准装置 | 申请号 | CN201710369702.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107200301A | 公开（授权）日 | 2017.09.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘艳松;赵超 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种MEMS晶片的贴膜对准装置 至一种MEMS晶片的贴膜对准装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种MEMS晶片的贴膜对准装置，包括基座、膜托固定区、摇摆臂、吸盘、升降机构、第一限位结构和第二限位结构；膜托固定区，设置于基座的一侧；摇摆臂包括固定杆和支撑臂，固定杆固定于基座的另一侧，支撑臂的轴向垂直于固定杆的轴向，且支撑臂的一端以固定杆为旋转轴旋转连接于固定杆上；吸盘固定于升降机构上，升降机构的升降方向垂直于支撑臂的轴向，升降机构旋转连接于支撑臂的另一端，旋转轴垂直于基座所在平面。实现膜与晶片对准的精确性，避免人工操作对晶片造成的损伤。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障