| 专利名称 | 一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法 | 申请号 | CN201610143203.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107188116A | 公开（授权）日 | 2017.09.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 发明（设计）人 | 刘连庆;施佳林;于鹏;李广勇 | 主分类号 | B82B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B82B3/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;G05B11/42(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法 至一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种基于相位反馈的超声AFM闭环纳米加工装置，包括：AFM系统以及与其连接的超声辅助系统、相位反馈系统，所述超声辅助系统与相位反馈系统连接；方法包括：人机交互界面根据设定的加工深度确定相位差设定值，相位差设定值与相位差检测反馈值输入至PID控制器，PID控制器输出控制信号、光电传感器输出的悬臂梁偏转信号输入至电压加法器，相加后输出至AFM控制器控制探针的加工的深度。本发明通过实时监测悬臂梁的相位值，最终能够实现加工深度信息的实时检测。 |
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