| 专利名称 | 一种基于联合探测和相位拟合的波前检测仪 | 申请号 | CN201710443940.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107167299A | 公开（授权）日 | 2017.09.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 马晓燠;饶长辉;鲍华;饶学军;杨金生 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于联合探测和相位拟合的波前检测仪 至一种基于联合探测和相位拟合的波前检测仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种基于联合探测和相位拟合的波前检测仪，由哈特曼波前传感器、相位差波前传感器、波前复原控制器和波前拟合器组成；波前复原控制器通过波前拟合器将哈特曼波前传感器和相位差波前传感器结合起来；首先波前复原控制器通过哈特曼波前传感器的检测结果控制波前拟合器大动态范围的迭代拟合被测波前，得到一个小量的拟合残差；然后波前复原控制器利用相位差波前传感器精确检测拟合残差并控制波前拟合器精确拟合被测波前；最后波前复原控制器对波前拟合器的补偿面型进行取反处理，从而得到被测波前；本发明的优点是在实现大动态范围波前检测的同时满足高精度检测的需求，实用性较佳。 |
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