一种基于激光干涉仪的高精度三自由度实时测量方法及装置

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专利名称 一种基于激光干涉仪的高精度三自由度实时测量方法及装置 申请号 CN201710432061.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107121073A 公开(授权)日 2017.09.01 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 方国明;彭起;乔山;董理 主分类号 G01B11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/02(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I 专利有效期 一种基于激光干涉仪的高精度三自由度实时测量方法及装置 至一种基于激光干涉仪的高精度三自由度实时测量方法及装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种基于激光干涉仪的高精度三自由度实时测量方法及装置,解决了运动物体的俯仰角、滚动角以及轴向位移三个自由度的实时测量问题。该装置包含高精度激光干涉测距仪、外反射角锥棱镜、平面反射镜、快门和控制及数据处理系统。利用激光干涉测距仪、外反射角锥棱镜和快门测量运动物体不同坐标的三个点,再利用测量得到的三个距离信息及三个坐标的位置信息算出运动物体上三个点的坐标变化,最后利用本发明提供的构造理想平面的方法解算出目标的俯仰、滚动角和轴向位移量。本发明此方法具有精度高、结构简单、数据处理量小和实时性好的特点。

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