专利名称 | 基于功率谱的大口径平面镜低阶像差估计方法 | 申请号 | CN201710316123.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN107121114A | 公开(授权)日 | 2017.09.01 | 申请(专利权)人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明(设计)人 | 安其昌;张景旭;杨飞;赵宏超 | 主分类号 | G01B21/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B21/20(2006.01)I | 专利有效期 | 基于功率谱的大口径平面镜低阶像差估计方法 至基于功率谱的大口径平面镜低阶像差估计方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 |
基于功率谱的大口径平面镜低阶像差估计方法,涉及大口径平面镜面形评价领域,解决了现有估计方法存在的计算量大、全面性低的问题。该方法包括:将Zernike多项式在频域上的表达代入不同子孔径的不同阶Zernike多项式系数之间的互相关系数在频域上的表达,利用上述获得的公式以及全口径Zernike多项式系数βj的定义进行计算得到子孔径Zernike多项式系数αi与全口径Zernike多项式系数βj之间的关系: |
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