| 专利名称 | 用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备 | 申请号 | CN201710315987.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107055467A | 公开（授权）日 | 2017.08.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 张广宇;卢晓波;时东霞;杨蓉;汤建 | 主分类号 | B82B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B82B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备 至用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及用于制备二维材料范德华异质结的真空转移设备。根据一示例性实施例，一种真空转移设备可包括：真空腔；二维样品驱动模块，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的二维驱动杆，所述二维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第一样品；以及四维样品驱动模块，安装在所述真空腔上并且包括延伸到所述真空腔内的四维驱动杆，所述四维驱动杆的延伸到所述真空腔内的末端用于支承第二样品，其中，所述二维驱动杆能在二维平面内调整所述第一样品的位置，所述四维驱动杆能在三维空间内调整所述第二样品的位置，并且能绕与所述二维平面垂直的轴旋转所述第二样品，从而使所述第一样品与所述第二样品彼此贴附在一起。 |
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