| 专利名称 | 偏振同步相移干涉仪 | 申请号 | CN201710312393.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107036529A | 公开（授权）日 | 2017.08.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 唐锋;王向朝;冯鹏;郭福东 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 偏振同步相移干涉仪 至偏振同步相移干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪和同步相移模块；同步相移模块包括非偏振分束器，第一检偏器阵列，第二检偏器阵列或检偏器，第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列。本发明采用2个光电探测器阵列实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有光电探测器阵列坐标关系标定难度低，光路简单，检偏器阵列复杂性降低，检测空间分辨率高的优点。 |
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