| 专利名称 | 点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法 | 申请号 | CN201710155972.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107036789A | 公开（授权）日 | 2017.08.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 唐锋;王向朝;冯鹏 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法 至点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法，干涉仪的构成包括：光源、第一分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、点光源发生单元、理想波前发生单元、待测光学系统、精密调节台、小孔光窗器件、第二分光器、二维光电探测器和数据处理单元。本发明具有测量空间分辨率高、干涉条纹密度可调、能够利用相移、空间载波相移等多种干涉相位提取算法、能够标定干涉仪系统误差和干涉对比度可调等优点。 |
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