| 专利名称 | 平面光学元件绝对面形检测装置 | 申请号 | CN201710380378.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107036554A | 公开（授权）日 | 2017.08.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 刘世杰;白云波;周游;张志刚;吴福林;王圣浩;鲁棋;王微微;邵建达 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 平面光学元件绝对面形检测装置 至平面光学元件绝对面形检测装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种平面光学元件绝对面形检测装置，主要包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3个平面光学元件夹具、3个平面光学元件、反射镜旋转电器控制系统等。本发明实现了平面光学元件面形绝对检测，实现了提高检测精度的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。 |
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