| 专利名称 | 一种镧钙锰氧-镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法 | 申请号 | CN201610006430.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106947959A | 公开（授权）日 | 2017.07.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 董显林;薛粉;陈莹;王根水 | 主分类号 | C23C18/12(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C18/12(2006.01)I | 专利有效期 | 一种镧钙锰氧-镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法 至一种镧钙锰氧-镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种镧钙锰氧-镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法，所述复合薄膜包括依次层叠形成在基底上的镧钙锰氧薄膜层、镧锶锰氧薄膜层和钛酸锶铅薄膜层。本发明提供的复合薄膜具有表面粗糙度低、无微裂纹、性能稳定且同时具有良好铁磁性能、铁电性能及室温磁电容效应等优点，且可与半导体集成电路技术相兼容，适用性强；本发明提供的方法原料廉价、无毒，制备过程中无有毒气体排放，环境污染小；本发明制备工艺简单，无需特殊设备，有利于规模化生产。 |
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