| 专利名称 | 电化学微震检波器 | 申请号 | CN201710091426.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106908834A | 公开（授权）日 | 2017.06.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 王军波;李光磊;陈德勇;陈健;孙振源;陈连宏 | 主分类号 | G01V1/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G01V1/18(2006.01)I | 专利有效期 | 电化学微震检波器 至电化学微震检波器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种电化学微震检波器，包括：惯性摆体，其内形成电解液空间，该电解液空间内充有电解液；敏感电极，固定于电解液空间的电解液中，用于采用电化学原理将震动信号转换为电信号；信号处理电路，其输入端电性连接至敏感电极，用于将敏感电极输出的电信号进行处理，得到负反馈信号；反馈组件，其输入端电性连接至信号处理电路，用于利用负反馈信号向惯性摆体施加与外界震动输入力相反的力，以减小惯性摆体因外界震动输入力而产生的位移。本发明通过一种适用于小型MEMS电化学微震检波器的力平衡负反馈机制，以达到拓展小型MEMS电化学微震检波器工作频带的目的。 |
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