| 专利名称 | 平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法 | 申请号 | CN201710143097.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106918301A | 公开（授权）日 | 2017.07.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 唐锋;卢云君;郭福东;王向朝;张国先 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法 至平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法，装置包括干涉仪、干涉仪拼接位移台、干涉仪倾斜调整台、被测件拼接位移台、被测件倾斜调整台、被测件，支撑平台及控制系统。本发明具有子孔径定位精度高、测量精度高和全自动测量的优点。 |
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