一种具有高硬度与自润滑性的涂层及其制备方法

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专利名称 一种具有高硬度与自润滑性的涂层及其制备方法 申请号 CN201510982935.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106906442A 公开(授权)日 2017.06.30 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 李金龙;王越;王永欣;王立平 主分类号 C23C14/06(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 专利有效期 一种具有高硬度与自润滑性的涂层及其制备方法 至一种具有高硬度与自润滑性的涂层及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种具有高硬度与自润滑性的涂层。该涂层将具有高强韧性的非晶纳米晶结构与MAX相层状结构相结合,利用MAX相层状结构具有的良好自润滑性,使涂层不仅具有高硬度,而且具有良好的自润滑性能,能够满足装备关键零部件和工模具等基体的减摩耐磨防护需求。另外,针对由纳米晶TiN、非晶Si3N4以及Ti-Si-C三种元素的MAX相层状结构构成的涂层,本发明利用多弧离子镀技术制备该涂层,得到的涂层硬度可达30-40GPa,摩擦系数可达0.1-0.2。

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