| 专利名称 | 一种光栅平行性检测装置 | 申请号 | CN201611221909.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106895798A | 公开（授权）日 | 2017.06.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张雪鹏;王慧利;蔺春波 | 主分类号 | G01B11/26(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/26(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光栅平行性检测装置 至一种光栅平行性检测装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光栅平行性检测装置属于光栅测量技术领域，目的在于解决现有技术存在的当光栅面积较小、间距较小时现有技术不便检测以及造成摩擦划伤的问题。本发明包括平行光源、反射镜组、透镜组、镜座、多路镜筒和相机；所述透镜组固定在镜座上，透镜组位于反射镜组下方，多路镜筒位于镜座下方，相机位于多路镜筒下方；待检测的光栅B为系统基准，待检测的光栅A置于光栅B的上方，平行光管位于光栅A和光栅B整体的下方，平行光源发出的光经光栅A和光栅B反射后再经反射镜组反射，经反射镜组反射的光线分别经透镜组透射后经多路镜筒成像在相机上。有效的解决了光栅尺装调环境中一对光栅平行性检测的问题，尤其解决了尺寸较小的一对光栅的平行性检测问题。 |
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