一种微秒脉冲等离子体射流一体机装置及其使用方法

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专利名称 一种微秒脉冲等离子体射流一体机装置及其使用方法 申请号 CN201710183836.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106879155A 公开(授权)日 2017.06.20 申请(专利权)人 中国科学院电工研究所;南京工业大学;南京苏曼等离子科技有限公司 发明(设计)人 王瑞雪;邵涛;田思理;邱锦涛;方志;万京林 主分类号 H05H1/36(2006.01)I IPC主分类号 H05H1/36(2006.01)I;H02M3/07(2006.01)I;H02M1/08(2006.01)I;H02M1/32(2007.01)I 专利有效期 一种微秒脉冲等离子体射流一体机装置及其使用方法 至一种微秒脉冲等离子体射流一体机装置及其使用方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种微秒脉冲等离子体射流一体机装置,包括微秒脉冲激励电源、等离子体射流装置和反应气体装置,微秒脉冲激励电源通过连接线内设置的高压线与等离子体射流装置的高压端连接,反应气体装置内的反应气体通过进气管进入微秒脉冲激励电源的进气口,并通过连接线内设置的出气管进入等离子体射流装置中。本发明还提供了一种微秒脉冲等离子体射流一体机装置的使用方法。本发明的有益效果为:一体化设计,具有放电效率高和装置小型化的优势,方便携带与使用;可输出电压幅值0?20kV连续可调、频率0?1.5kHz连续可调、上升沿0.5us、半高宽8us的高压脉冲;在实际应用中,可以应用于表面处理、生物医学应用等领域。

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