一种多焦点仿生复眼结构的成形方法

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专利名称 一种多焦点仿生复眼结构的成形方法 申请号 CN201710219871.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106842388A 公开(授权)日 2017.06.13 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 曹阿秀;史立芳;邓启凌;张满;庞辉 主分类号 G02B3/00(2006.01)I IPC主分类号 G02B3/00(2006.01)I 专利有效期 一种多焦点仿生复眼结构的成形方法 至一种多焦点仿生复眼结构的成形方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种多焦点仿生复眼结构的成形方法,涉及微细加工,仿生复眼等领域。该方法主要步骤为:(1)基材的选择以及光刻胶旋涂;(2)移动掩模曝光,实现平面连续面形多焦点复眼结构的光刻胶成形;(3)将平面多焦点复眼光刻胶结构刻蚀传递到基材上;(4)基于基材上多焦点复眼结构,制备与之互补的柔性多焦点复眼结构模板;(5)引入光固化材料,利用曲率相互匹配的结构装置,将平面多焦点仿生复眼结构信息转移变换为曲面结构,形成一体化的多焦点仿生复眼结构。

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