专利名称 | 一种多焦点仿生复眼结构的成形方法 | 申请号 | CN201710219871.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN106842388A | 公开(授权)日 | 2017.06.13 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 曹阿秀;史立芳;邓启凌;张满;庞辉 | 主分类号 | G02B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种多焦点仿生复眼结构的成形方法 至一种多焦点仿生复眼结构的成形方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种多焦点仿生复眼结构的成形方法,涉及微细加工,仿生复眼等领域。该方法主要步骤为:(1)基材的选择以及光刻胶旋涂;(2)移动掩模曝光,实现平面连续面形多焦点复眼结构的光刻胶成形;(3)将平面多焦点复眼光刻胶结构刻蚀传递到基材上;(4)基于基材上多焦点复眼结构,制备与之互补的柔性多焦点复眼结构模板;(5)引入光固化材料,利用曲率相互匹配的结构装置,将平面多焦点仿生复眼结构信息转移变换为曲面结构,形成一体化的多焦点仿生复眼结构。 |
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