| 专利名称 | 一种二维长程面形检测装置及检测方法 | 申请号 | CN201710198456.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106840030A | 公开（授权）日 | 2017.06.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 发明（设计）人 | 罗红心;张翼飞;樊亦辰;金利民;李中亮;王劼 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种二维长程面形检测装置及检测方法 至一种二维长程面形检测装置及检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种二维长程面形检测装置，包括单色光光源、二维阵列结构π位相板、分光棱镜、导轨、装设于导轨上的五角棱镜、透镜、直角棱镜模块以及面阵探测器；所述单色光光源设置为出射一光束，该光束穿过所述二维阵列结构π位相板入射到所述分光棱镜，经所述分光棱镜分光后入射到所述五角棱镜，经所述五角棱镜折射后入射到所述待测镜面，而后经所述待测镜面反射回所述五角棱镜，再次经所述五角棱镜折射后依次穿过所述分光棱镜、所述透镜和所述直角棱镜模块到达所述面阵探测器，并在所述面阵探测器上形成测量光斑。本发明通过导轨运动扫描得到光学元件表面的二维信息，实现大尺度光学元件表面质量检测和高精度压弯机构检测。 |
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