| 专利名称 | 一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器 | 申请号 | CN201611160348.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106793441A | 公开（授权）日 | 2017.05.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院力学研究所 | 发明（设计）人 | 贺建武;康琦;段俐;胡良;马隆飞;薛森文 | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I | IPC主分类号 | H05H1/46(2006.01)I;F03H1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器 至一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器，包括：电离室、射频天线、进气系统、屏蔽罩、离子光学系统、电缆夹头；所述电离室为半椭球形,电离室入口连接进气系统，出口连接所述离子光学系统；所述屏蔽罩位于电离室外面；射频天线通上射频电流，用于在所述电离室内产生涡流电场，所述电缆夹头固定在所述屏蔽罩上。本发明具有下列技术效果：1、电离室设计成半椭球形，有效降低离子生成能；2、射频天线绕制在半椭球形电离室外侧，采用LC谐振及调频技术实现阻抗匹配；3、设计前置气体分配器，相较于后置气体分配器，可有效提高气体电离效率及等离子体均匀度。 |
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