| 专利名称 | 压阻式恒温控制振荡器及其制备方法 | 申请号 | CN201510830774.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106788316A | 公开（授权）日 | 2017.05.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 杨恒;游卫龙;张磊;王小飞;李昕欣 | 主分类号 | H03H9/08(2006.01)I | IPC主分类号 | H03H9/08(2006.01)I;H03H9/19(2006.01)I;H03H3/02(2006.01)I;H03H3/04(2006.01)I | 专利有效期 | 压阻式恒温控制振荡器及其制备方法 至压阻式恒温控制振荡器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种压阻式恒温控制振荡器及其制备方法，包括：谐振结构、加热梁、多晶硅高阻层、第一绝缘层及加热电阻；谐振结构包括纵向振动梁及第一电极；纵向振动梁的数量为两根，两根纵向振动梁平行间隔排布；第一电极位于两根纵向振动梁的两端，并将两根纵向振动梁相连接；纵向振动梁及第一电极均沿单晶硅<100>晶向族方向分布；加热梁贯穿两根纵向振动梁；多晶硅高阻层位于两根纵向振动梁之间，且将加热梁隔断为两部分；第一绝缘层及加热电阻由下至上依次覆盖于加热梁的上表面。在两根纵向振动梁之间制作多晶硅高阻层，可实现对振荡器进行压阻检测；多晶硅高阻层将位于其两侧的加热梁连接成双端固支梁，可显著减小加热梁变形对谐振结构的影响。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障