| 专利名称 | 基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法 | 申请号 | CN201710040989.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106772752A | 公开（授权）日 | 2017.05.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 郭智慧;龙亮;杨恒;钟少龙 | 主分类号 | G02B5/28(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/28(2006.01)I;G02F1/025(2006.01)I | 专利有效期 | 基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法 至基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法，包括：1）提供半导体基底，在半导体基底的第一表面形成第一凹槽及第二凹槽；2）提供键合基底，在键合基底的第一表面形成第三凹槽；3）将半导体基底与键合基底键合；4）在键合基底内形成光纤安装孔；5）在半导体基底的第二表面形成光学增透膜；6）刻蚀半导体基底，以形成贯穿半导体基底的通孔；7）在通孔底部的键合基底的第一表面形成第一电极，在半导体基底的第二表面形成第二电极；8）释放可动质量块结构；9）在中心质量块的下表面形成光学高反膜。通过预设光纤安装孔，在降低驱动电压的同时，极大地增加在静电驱动模式下FP光纤滤波器腔长变化与电源选择之间的灵活性。 |
1、源头对接，价格透明
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