一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法

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专利名称 一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法 申请号 CN201611131309.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106767403A 公开(授权)日 2017.05.31 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 杨飞;安其昌;赵宏超;郭鹏;姜海波 主分类号 G01B11/00(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/00(2006.01)I 专利有效期 一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法 至一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本申请公开了一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法,包括:选取待测辅助设备,并计算与待测辅助设备的理想光轴重合的预定位置;将点光源显微镜移动至预定位置,发射与理想光轴平行的准直光至位于待测辅助设备的焦点处的靶面;判断准直光在靶面上形成的光斑是否与靶面中心重合,若否,则根据光斑与所述靶面中心之间的偏离距离计算待测辅助设备的实际光轴的位置;根据实际光轴的位置以及所述理想光轴的位置计算光轴位置误差。相对现有技术中的不仅可以节省成本,而且缩短误差检测时间,还可以适应不同口径光学系统的光轴误差检测任务。本申请还公开了一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测系统,具有同样的技术效果。

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