| 专利名称 | 一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法 | 申请号 | CN201510824541.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106756880A | 公开（授权）日 | 2017.05.31 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 唐永炳;蒋春磊;张静 | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 专利有效期 | 一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法 至一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明适用于真空镀膜技术领域，提供了一种金刚石/类金刚石多层复合涂层的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，对所述基底进行表面预处理后装炉；真空条件下，通入甲烷并进行第一涂层过程，在所述基底表面沉积金刚石涂层；真空条件下，调整加热温度和甲烷浓度进行第二涂层过程，在所述金刚石涂层表面沉积类金刚石涂层；重复所述第一涂层过程和所述第二涂层过程，制备金刚石层和类金刚石交替沉积的多层复合结构，且得到的金刚石/类金刚石多层复合涂层的最外层为类金刚石涂层。 |
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