| 专利名称 | 一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统及方法 | 申请号 | CN201510828015.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106769273A | 公开（授权）日 | 2017.05.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 发明（设计）人 | 佟雷;刘伯聪;金长宇;赵崇凌 | 主分类号 | G01N1/28(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N1/28(2006.01)I;B65G35/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统及方法 至一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及超高真空下样品多工序加工及检测技术领域，具体的说是一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统。包括样品车行走通道、磁耦合传输系统、传输小车组件、支架、真空抽气系统及控制系统，其中样品车行走通道安装在所述支架上，真空抽气系统与样品车行走通道连接，用于样品车行走通道抽真空，样品车行走通道内设有在轨道上行驶的传输小车组件，样品车行走通道的外部设有磁耦合传输系统，磁耦合传输系统与控制系统点连接、并通过控制系统的控制来实现与传输小车组件磁耦合及带动传输小车组件前行。本发明采用了磁力耦合传输技术，该技术考虑了特殊的极高真空工况环境及空间受限等因素的影响，实现了样品的稳定可靠传输。 |
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