| 专利名称 | 一种非球面离子束成型装置及方法 | 申请号 | CN201611204205.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106736990A | 公开（授权）日 | 2017.05.31 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 李云;邢廷文;付韬韬 | 主分类号 | B24B13/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B13/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种非球面离子束成型装置及方法 至一种非球面离子束成型装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种非球面离子束成型装置及方法。所述装置包括真空舱、工件旋转机构、工件夹持架、被加工件、离子束掩模板和离子源；真空舱为离子源提供真空工作环境并容纳其它部件；工件旋转机构用于旋转被加工件；工件夹持架用于悬挂夹持被加工件；离子束掩模板根据非球面及离子束分布情况设计成特定的形状遮拦并形成特定形状及分布的离子束。本发明所述非球面离子束成型装置及方法能快速成型高质量的非球面。 |
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