专利名称 | 一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法 | 申请号 | CN201710065763.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN106744860A | 公开(授权)日 | 2017.05.31 | 申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 夏洋 | 主分类号 | C01B32/184(2017.01)I | IPC主分类号 | C01B32/184(2017.01)I | 专利有效期 | 一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法 至一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属材料技术领域,公开了一种石墨烯材料制备方法,包括:将含碳化合物材料置于高真空环境中;采用两束不同波长的激光照射在所述含碳化合物材料的同一区域。本发明工艺制备及转移过程简单,与一般的石墨烯制备方法相比(如,机械剥离法、超声波液相剥离法、以及电化学剥离法等)可以省去现有石墨烯生长后的转移过程,避免了转移过程中石墨烯的损伤,同时该方法可以直接制备石墨烯器件,可以简化制备石墨烯器件所需的光刻工艺,从而降低成本。 |
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