一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法

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专利名称 一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法 申请号 CN201710065763.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106744860A 公开(授权)日 2017.05.31 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 夏洋 主分类号 C01B32/184(2017.01)I IPC主分类号 C01B32/184(2017.01)I 专利有效期 一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法 至一种石墨烯材料制备方法及器件制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明属材料技术领域,公开了一种石墨烯材料制备方法,包括:将含碳化合物材料置于高真空环境中;采用两束不同波长的激光照射在所述含碳化合物材料的同一区域。本发明工艺制备及转移过程简单,与一般的石墨烯制备方法相比(如,机械剥离法、超声波液相剥离法、以及电化学剥离法等)可以省去现有石墨烯生长后的转移过程,避免了转移过程中石墨烯的损伤,同时该方法可以直接制备石墨烯器件,可以简化制备石墨烯器件所需的光刻工艺,从而降低成本。

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