| 专利名称 | 一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法 | 申请号 | CN201710102163.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106705886A | 公开（授权）日 | 2017.05.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 卢增雄;齐月静;齐威;杨光华;苏佳妮;周翊;王宇 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法 至一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法，该方法所利用的测量系统包括：干涉仪、球面标准镜、标准球面波、待测球面镜和五维调整台，该方法根据待测球面镜的NA大小以及移相误差的控制要求将待测球面镜分成多个环形子孔径，不同环形子孔径采用不同的移相步长，再通过子孔径拼接的方式可实现整个球面镜面形误差的测量。本发明通过改变移相步长的新方法，低成本地实现了高数值孔径球面镜面形误差的高精度测量。 |
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