| 专利名称 | 一种单片集成平衡探测器及其制备方法 | 申请号 | CN201611241397.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106684104A | 公开（授权）日 | 2017.05.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 张莉萌;陆丹;赵玲娟;王圩 | 主分类号 | H01L27/144(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L27/144(2006.01)I;H01L21/8252(2006.01)I | 专利有效期 | 一种单片集成平衡探测器及其制备方法 至一种单片集成平衡探测器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种MMI输出波导与波导型探测器共下波导的单片集成平衡探测器及其制备方法。该单片集成平衡探测器包括：衬底，其左、中、右三区域分别作为MMI区域、PD区域和共面电极CPW区域；MMI输出波导，呈条状，位于衬底上的所述MMI区域；波导型探测器，呈条状，形成于衬底上PD区域的MMI与PD公用下波导芯层的上方；MMI与PD公用下波导芯层同时作为PD的下接触层，其上用于制作探测器的N电极；PD接触层上用于制作探测器的P电极；金属共面电极，其由两部分组成：接触电极部分，与波导型探测器的PD接触层和MMI与PD公用下波导芯层相连接。本发明实现了MMI与波导型探测器的集成，解决了分立的光学器件过多的耦合损耗并提高了接收机系统的稳定性。 |
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