三维电极材料及其制备方法、固体超级电容器

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专利名称 三维电极材料及其制备方法、固体超级电容器 申请号 CN201510408772.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106653387A 公开(授权)日 2017.05.10 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 张跃钢;侯远;丘勇才;李桂珠;杨洁;刘美男;周莉莎;李宛飞 主分类号 H01G11/36(2013.01)I IPC主分类号 H01G11/36(2013.01)I;H01G11/26(2013.01)I;H01G11/86(2013.01)I 专利有效期 三维电极材料及其制备方法、固体超级电容器 至三维电极材料及其制备方法、固体超级电容器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种三维电极材料,其特征在于,包括:在铝箔上形成的Al纳米钉阵列;在所述Al纳米钉阵列上形成的镍层;在所述镍层上形成的MnOx纳米钉阵列。其制备方法包括:S101、采用阳极氧化工艺和刻蚀工艺在铝箔上生长Al纳米钉阵列;S102、采用磁控溅射工艺在所述Al纳米钉阵列生长一镍层;S103、采用三电极电沉积工艺在所述镍层上生长MnOx纳米钉阵列,获得三维电极材料。本发明还公开了一种固体超级电容器,其包括如上所述三维电极材料制备形成的电极。该电极材料应用于固体超级电容器中,提高了电容器的面积比电容,也提高了电容器的倍率特性和循环性能。

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