| 专利名称 | 一种极紫外单级衍射光栅 | 申请号 | CN201710157609.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106646710A | 公开（授权）日 | 2017.05.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 浦探超;刘子维;史丽娜;谢常青;李海亮;牛洁斌;刘明 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种极紫外单级衍射光栅 至一种极紫外单级衍射光栅 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本申请提供一种极紫外单级衍射光栅，包括透光衬底；和位于所述透光衬底上的不透光薄膜，所述不透光薄膜上开设有多个圆形透光通孔；半径随机的圆形透光通孔在所述不透光薄膜上呈斜方格子分布，完全抑制了背景噪声，提高了信噪比；且所述斜方格子的周期与所述的每个圆形通孔的半径的最大值和最小值之间按照预设的比例取值，这种光栅抑制了±2级和±3级衍射，从而消除了谐波污染，提高了分辨率，大大降低了结果的误差，进而提高分析结果的可靠性和准确性，提高了摄谱精度。 |
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