激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法

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专利名称 激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法 申请号 CN201611204744.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106644107A 公开(授权)日 2017.05.10 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 卢增雄;齐月静;王宇;齐威;杨光华;苏佳妮;周翊 主分类号 G01J9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/02(2006.01)I 专利有效期 激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法 至激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法,涉及光学测量技术领域。本发明提出的激光光束空间相干长度测量装置采用具备非等间距排列的多孔阵列板,通过探测器采集多孔衍射波前的干涉图,只需单次测量,便可测得激光光束的空间相干长度,装置结构简单,测量速度快。另外,本发明还相应的提出了其测量方法,根据傅里叶变换计算,可以准确的得到激光光束的空间相干长度。

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