| 专利名称 | 一种光干涉气体浓度传感器系统 | 申请号 | CN201610901835.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106645028A | 公开（授权）日 | 2017.05.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院自动化研究所 | 发明（设计）人 | 李恩;梁自泽;龙腾;谭民 | 主分类号 | G01N21/45(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/45(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光干涉气体浓度传感器系统 至一种光干涉气体浓度传感器系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种光干涉气体浓度传感器系统，包括参考气室、采样气室、第一光源、第二光源、平面镜、第一折光棱镜、第二折光棱镜。参考气室和采样气室各有一个矩形气室和一个梯形气室。第一光源或者第二光源分时发光，分别经过矩形气室和梯形气室进行全量程高精度测量，光源发出的光线经聚光镜会聚后以45°角入射到背面镀有全反射膜的平面镜，平面镜将光线分成平行的两束光，两束光穿过采样气室和参考气室，然后分别经折光棱镜反射后同时穿过矩形参考气室，最后光线穿过补偿棱镜后到达平面镜重新汇合成一束光，在光电探测元件处产生干涉条纹。根据光电探测元件的光强，测得待测气体浓度。 |
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